首頁產品介紹 Wafer檢測系統 Wafer光學量/檢測系統

Wafer光學量/檢測系統

針對晶圓在製程前後進行顯微量測, 以及表面影像光學瑕疵檢測, 光學系統包含明/暗場的設計, 可針對最小0.5um以上瑕疵進行檢測.